纳米图案化蓝宝石衬底

   在蓝宝石衬底上设计和制造出微米级或纳米级的具有特定凹凸结构的规则图案,可以控制LED的外延生长，减少氮化镓材料位错缺陷，提升氮化镓晶体的质量，提高LED发光的内量子效率。凹凸结构还通过光的反射、散射或折射，减少光的全反射，增加光的取出率。蓝宝石衬底的微米、纳米图案化是LED领域发展的主要趋势。复合纳米压印技术特别适合表面起伏大、翘曲率高的蓝宝石衬底。纳米图案化蓝宝石衬底的制备流程先通过复合压印方法在蓝宝石衬底上制备纳米图案，然后蒸镀金属镍，举离后，以镍做掩膜，通过氯基刻蚀，将图案传递到蓝宝石衬底上。我们还通过共混聚合物相分离的方法制备了纳米图案化蓝宝石衬底。