纳米图案化蓝宝石衬底
在蓝宝石衬底上设计和制造出微米级或纳米级的具有特定凹凸结构的规则图案,可以控制LED的外延生长,减少氮化镓材料位错缺陷,提升氮化镓晶体的质量,提高LED发光的内量子效率。凹凸结构还通过光的反射、散射或折射,减少光的全反射,增加光的取出率。蓝宝石衬底的微米、纳米图案化是LED领域发展的主要趋势。复合纳米压印技术特别适合表面起伏大、翘曲率高的蓝宝石衬底。
表面增强拉曼散射(SERS)衬底
我们采用复合纳米压印技术和共混聚合物相分离的方法分别制备了大面积、均匀性好、可重复、增强因子高的SERS衬底。
表面减反结构
我们采用共混聚合物相分离的方法制备了减反结构。
纳米光栅
采用纳米压印技术制备的各种光栅器件